2023年1月28日,山西省科技厅法甲竞猜布2022年度山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目成功揭榜法甲竞猜告。乐投体育网址联合中国科学院半导体研究所中榜山西中科潞安紫外光电科技有限法甲竞猜司需求项目“深紫外LED量产型金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)装备研发”。该项目聚焦第三代半导体外延设备研发和材料关键基础工艺验证等重大科学与技术问题,通过实现核心MOCVD装备的高端化和实用化,为生产宽禁带高质量半导体材料与高性能器件奠定基础。

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